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高純液氮純化方法:
氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在生產中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。
高純液氮的用途:
在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中,液氫加注系統先用高純氮置換,再用高純氦置換。
淄博通曜氣體銷售有限公司 | |||
分析報告單 | |||
檢驗依據:GB/T8979-2008 編碼:0001902 | |||
樣品名稱:液氮 | 取樣地點:液氮槽車 | ||
分析項目 | 指標 | 分析結果 | |
氮氣(N2)純度(體積分數)/10-2 ≥ | 99.999 | ||
氧(O2)含量(體積分數)/10-6 ≤ | 3 | ||
氫(H2)含量(體積分數)/10-6 ≤ | 1 | ||
一氧化碳(CO)含量(體積分數)/10-6 ≤ | 1 | ||
二氧化碳(CO2)含量(體積分數)/10-6 ≤ | 1 | ||
甲烷(CH4)含量(體積分數)/10-6 ≤ | 1 | ||
水(H2O)含量(體積分數)/10-6 ≤ | 3 |